流量控制器 美國(guó)omega流量控制器
氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列
氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
FMA-2600A 系列:氣體質(zhì)量與體積流量控制器適用于潔凈氣體
20多種氣體校準(zhǔn)，包括氦氣、氧氣、氖氣、一氧化二氮、氮?dú)?、大氣、氬氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化?BR>同時(shí)顯示壓力、溫度、體積以及質(zhì)量流量
簡(jiǎn)單易用的按鈕界面
NIST 可溯源性標(biāo)準(zhǔn)
滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 1500 SLM
常規(guī)響應(yīng)時(shí)間：50 ~ 100 毫秒
常規(guī)量程比：100:1
位置不敏感
±0.8%讀數(shù)精度
標(biāo)配RS232
FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場(chǎng)中使用差壓原則來(lái)確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。

泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。

同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。

這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過(guò)一體化PID回路控制器控制流體。

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊?？赏ㄟ^(guò)前面板鍵盤(pán)或RS232通訊調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。

體積 流量、質(zhì)量流量、壓力以及溫度均可以通過(guò)RS232連接查看或記錄。

同時(shí)，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，zui多可與26臺(tái)設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通訊。
規(guī)格:
精度: ±（讀數(shù)的0.8% + 滿量程的0.2%）
重復(fù)性: 滿量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制響應(yīng)時(shí)間: 100 ms
輸入控制信號(hào): 0 ~ 5 Vdc, RS232
輸出信號(hào): 0 ~ 5 Vdc, RS232
可選輸入/輸出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作溫度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零點(diǎn)偏移: 滿量程的0.02%/°C
量程偏移: 滿量程的0.02%/°C
濕度量程: 0 ~ 100% RH，無(wú)冷凝
附加流速: 滿量程的2.4%
接液材質(zhì)：303和302不銹鋼、氟橡膠、硅酮RTV（橡膠）、玻璃強(qiáng)化型尼龍、鋁、銅、410不銹鋼、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不銹鋼和鎳替換銅
zui大壓力
質(zhì)量流量控制器: 145 psig
使用體積模式: 使用體積模式：近大氣，建議zui大15 psig。
體積流量計(jì)和控制器不保證超出流量計(jì)額定流量范圍的質(zhì)量流速的準(zhǔn)確性。這些值僅適用于近大氣壓力條件。建議zui大工作壓力為15 psig
額定zui小壓差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
電源電流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常規(guī)）
電源電壓: 20 SLM及更小的設(shè)備12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的設(shè)備24 ~ 30 Vdc
電氣連接: 8針圓形迷你DIN

產(chǎn)品型號(hào)/產(chǎn)品描述
質(zhì)量流量控制器
FMA-2601A 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2601A-I 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2601A-I2 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2601A-P 0.5 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2601A-V2 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5V輸出
FMA-2601A-VOL 0.5 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2602A 1 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2602A-I 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2602A-I2 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2602A-P 1 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2602A-V2 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè) 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2602A-VOL 1 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2614A 2 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2614A-I 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2614A-I2 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2614A-P 2 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2614A-V2 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5 V的輸出
FMA-2614A-VOL 2 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2615A 5 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2615A-I 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4?? ~ 20 mA輸出
FMA-2615A-I2 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2615A-P 5 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2615A-V2 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2615A-VOL 5 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2603A 10 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2603A-I 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2603A-I2 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2603A-P 10 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2603A-V2 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5V輸出
FMA-2603A-VOL 10 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2616A 20 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2616A-I 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2616A-I2 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2616A-P 20 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2616A-V2 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2616A-VOL 20 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2604A 50 SCCM，10-32 UNF螺紋
FMA-2604A-I 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2604A-I2 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2604A-P 50 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2604A-V2 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，兩個(gè)0 ~ 5V輸出
FMA-2604A-VOL 50 SCCM，10-32 UNF螺紋，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2617A 100 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2617A-I 100 SCCM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2617A-I2 100 SCCM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2617A-P 100 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2617A-V2 100 SCCM的，1/8 FNPT，2個(gè) 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2617A-VOL 100 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2618A 200 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2618A-I 200 SCCM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2618A-I2 200 SCCM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2618A-P 200 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2618A-V2 200 SCCM，1/8 FNPT，2個(gè) 0 ~ 5 V的輸出
FMA-2618A-VOL 200 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2619A 500 SCCM，1/8 FNPT連接
FMA-2619A-I 500 SCCM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2619A-I2 500 SCCM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2619A-P 500 SCCM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2619A-V2 500 SCCM，1/8 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2619A-VOL 500 SCCM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2620A 1 SLM，1/8 FNPT
FMA-2620A-I 1 SLM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2620A-I2 1 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2620A-P 1 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2620A-V2 1 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2620A-VOL 1 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2605A 2 SLM，1/8 FNPT
FMA-2605A-I 2 SLM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2605A-I2 2 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2605A-P 2 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2605A-V2 2 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2605A-VOL 2 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2606A 5 SLM，1/8 FNPT
FMA-2606A-I 5 SLM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2606A-I2 5 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2606A-P 5 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2606A-VOL 5 SLM，1/8 FNPT，體積流速為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2607A 10 SLM，1/8 FNPT
FMA-2607A-I 10 SLM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2607A-I2 10 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2607A-P 10 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2607A-V2 10 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2607A-VOL 10 SLM，1/8 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2608A 20 SLM，1/8 FNPT
FMA-2608A-I 20 SLM，1/8 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2608A-I2 20 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2608A-P 20 SLM，1/4英寸外螺紋焊接接頭，帶一體式正壓切斷閥
FMA-2608A-V2 20 SLM，1/8 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2608A-VOL 20 SLM，1/8 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2609A 50 SLM，1/4 FNPT
FMA-2609A-I 50 SLM，1/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2609A-I2 50 SLM，1/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2609A-V2 50 SLM，1/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2609A-VOL 50 SLM，1/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2610A 100 SLM，1/4 FNPT
FMA-2610A-I 100 SLM，1/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2610A-I2 100 SLM，1/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2610A-V2 100 SLM，1/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2610A-VOL 100 SLM，1/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2611A 250 SLM，1/2 FNPT
FMA-2611A-I 250 SLM，1/2 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2611A-I2 250 SLM，1/2 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2611A-V2 250 SLM，1/2 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2611A-VOL 250 SLM，1/2 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2612A 500 SLM，3/4 FNPT
FMA-2612A-I 500 SLM，3/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2612A-I2 500 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2612A-V2 500 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2612A-VOL 500 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2613A 1000 SLM，3/4 FNPT
FMA-2613A-I 1000 SLM，3/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2613A-I2 1000 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2613A-V2 1000 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2613A-VOL 1000 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2621A 1500 SLM，3/4 FNPT
FMA-2621A-I 1500 SLM，3/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2621A-I2 1500 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2621A-V2 1500 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2621A-VOL 1500 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2622A 2000 SLM，3/4 FNPT
FMA-2622A-I 2000 SLM，3/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2622A-I2 2000 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2622A-V2 2000 SLM，3/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2622A-VOL 2000 SLM，3/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
FMA-2623A 3000 SLM，1 1/4 FNPT
FMA-2623A-I 3000 SLM， 1 1/4 FNPT，一個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2623A-I2 3000 SLM，1 1/4 FNPT，兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出
FMA-2623A-V2 3000 SLM，1 1/4 FNPT，兩個(gè)0 ~ 5 V輸出
FMA-2623A-VOL 3000 SLM，1 1/4 FNPT，體積流速作為標(biāo)準(zhǔn)輸出
體積流量控制器
FVL-2601A 0.5 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2602A 1 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2614A 2 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2615A 5 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2603A 10 SCCM，10-32 螺紋連接
FVL-2604A 50 SCCM，10-32 螺紋連接
配件
FMA1600-C1 單端1.83米 (6英尺) 8針迷你DIN公連接器備用電纜
FMA1600-C1-25 FT 單端7.62米 (25英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C2 雙端1.83米 (6英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C2-25 FT 雙端7.62米 (25英尺) 8針迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-C3 1.83米 (6英尺) 8針迷你公DIN至DB9 內(nèi)螺紋適配器電纜
FMA1600-CRA 單端7.83米 (6英尺) 8針直角迷你DIN公連接器電纜
FMA1600-MDB 多點(diǎn)箱體
FMA1600-PSU 通用交流100 ~ 240 V輸入 ~ 直流24 V輸出電源適配器
FMA1600-E2 220VAC to 24VDC Power Supply for 50 LPM or greater
管接頭適配器用于10-32螺紋
FTNY-K210BN 尼龍材質(zhì)，管內(nèi)徑1/16英寸至10-32 UNF公螺紋頭
FTPP-K210NP 聚丙烯材質(zhì)，管內(nèi)徑1/16英寸至10-32UNF公螺紋頭
FTNY-K230BN 尼龍材質(zhì)，管內(nèi)徑1/8英寸至10-32UNF公螺紋頭
FTPP-K230NP 聚丙烯材質(zhì)，管內(nèi)徑1/8英寸至10-32UNF公螺紋頭
 

注釋: 配備24 V直流通用電源、1.8m (6’)電纜、8針迷你DIN公連接器、操作手冊(cè)及NIST證書(shū) 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備針對(duì)空氣進(jìn)行了校準(zhǔn)，校準(zhǔn)壓力0 ~ 1 LPM為5 psig、2 ~ 10 LPM為15 psig、20 ~ 100 LPM為30 psig、200 LPM及以上為50 psig。
如需定制校準(zhǔn)，請(qǐng)將“-(*)"添加到型號(hào)中，無(wú)需支付額外費(fèi)用。*定制校準(zhǔn)的氣體和入口/出口或背壓。
校準(zhǔn)僅在環(huán)境溫度為21C (70oF)的環(huán)境下進(jìn)行。
如欲將標(biāo)準(zhǔn)RS232通訊接口替換為RS485，請(qǐng)將后綴“-RS485"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。
標(biāo)準(zhǔn)輸入為0 ~ 5V，如需可選4 ~ 20 mA輸入，請(qǐng)將后綴“-IN"添加到型號(hào)中，無(wú)需支付額外費(fèi)用。
標(biāo)準(zhǔn)輸出標(biāo)定為質(zhì)量流速。要將體積流速設(shè)定為標(biāo)準(zhǔn)輸出，請(qǐng)將后綴“-VOL"添加至到型號(hào)中，無(wú)需支付額外費(fèi)用。在“-VOL"控制器中，控制回路設(shè)置為以體積為標(biāo)準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)輸出為0 ~ 5V，如需可選4 ~ 20 mA輸出，請(qǐng)將后綴“-I"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。
如需兩個(gè)4 ~ 20 mA輸出，請(qǐng)將后綴“-I2"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。
如需兩個(gè)0 ~ 5 V輸出電壓，請(qǐng)將后綴“V2"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。
** 可選輔助輸出與主輸出使用相同的標(biāo)度。如需備用輸出標(biāo)度，對(duì)于溫度請(qǐng)將后綴“-T"添加到型號(hào)中，或?qū)τ趬毫⒑缶Y“-P"添加到型號(hào)中，無(wú)需支付額外費(fèi)用。
如需一體式正壓切斷閥，請(qǐng)將后綴“-P"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。附帶正壓切斷閥的型號(hào)提供?"焊接VCR外螺紋接頭。 20 SLM以下的型號(hào)均提供。
如需以SCFH標(biāo)定的產(chǎn)品，請(qǐng)將后綴“-SCFH"添加至型號(hào)中。請(qǐng)以SCFH為單位期望量程，無(wú)需支付額外費(fèi)用。
如需累加器選項(xiàng)，請(qǐng)將后綴“-TOT"添加到型號(hào)中，需支付額外費(fèi)用。請(qǐng)分辨率
這是一款6位計(jì)數(shù)器。示例：使用1/100升分辨率對(duì)升累計(jì)計(jì)數(shù)時(shí)，zui大計(jì)數(shù)為9999.99。使用1升分辨率對(duì)升累計(jì)計(jì)數(shù)時(shí)，zui大計(jì)數(shù)為999999。

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